MS761壓力傳感器晶元的基礎組成是在耐熱玻璃上真空封裝上硅微機加工膜。植入的電阻利用壓阻效應。絕壓傳感器MS761-A在膜下面有個真空參考腔,差壓傳感器MS761-D的背面耐熱玻璃中間有個孔。0 到100kpa 壓力范圍 (1bar 或14.5PSI);高靈敏度;符合RoHS 和無鉛
全壓力范圍
| Kpa | bar | mbar | PSI | atm | mm Hg | m H2O | Inches H2O |
100 | 1 | 1000 | 14.5 | 0.987 | 750 | 10.197 | 401 |
絕對最大率
參數 | 符號 | 條件 | Min | Max | Unit |
供應電壓 | VS+ | Ta=25℃ | 20 | V | |
儲存溫度范圍 | Ts | -40 | +125 | ℃ | |
過壓 | 5 | Bar |
電氣特性
(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)
參數 | 最小 | 典型 | 最大 | 單位 | 備注 |
工作壓力范圍 | 0 | - | 1 | bar | |
工作溫度范圍 | -40 | 125 | ℃ | ||
橋路電阻 | 3.0 | 3.4 | 3.8 | KΩ | |
滿量程 | 190 | 240 | 290 | mV | |
零點 | -40 | 0 | 40 | mV | |
線性 | ±0.15 | ±0.4 | %FS | 1 | |
溫度系數 電阻 量程 零點 | +2400 -1500 -100 | +2800 -1900
| +3300 -2300 +100 | ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ | 2 |
| 壓力遲滯 | 0.05 | ±0.15 | %FS | 3 | |
| 重復性 | 0.05 | ±0.15 | %FS | 4 | |
| 溫度遲滯 | 0.3 | %FS | 5 |
訂購信息
| 產品 | 類型 | 產品說明 | 編號 |
| MS761-A | 絕壓 | 1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f | 76125021 |
| MS761-A_0.2 | 絕壓 | 1 bar Pressure Sensor Die 0.2mm Pyrex sawn on b/f | 76125022 |
| MS761-D | 差壓 | 1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f | 76125121 |
The MS761 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings
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